Advanced Material Handling Module and Integrated Tracking System

先進材料傳載模組系統

先進材料傳載模組系統
Advanced Material Handling Module and Integrated Tracking System
Brillian 多年研發經驗,優化升級傳載模組系統,全方位整合之軟硬體服務!
董事會組織
台積公司董事會的九位董事擁有世界級公司經營經驗或專業領域經驗,他們的豐富學識、個人洞察力和商業判斷力,深受台積公司倚重。九位董事中,五位為獨立董事,分別為:前英國電信公司執行長彼得.邦菲爵士、宏碁集團創辦人暨榮譽董事長施振榮先生、前國家表演藝術中心董事長及前行政院政務顧問陳國慈女士、前應用材料公司董事長麥克‧史賓林特先生以及前賽靈思公司總裁摩西‧蓋弗瑞洛夫先生,獨立董事人數超過全體董事席次的二分之一,董事成員中並有二名為女性。
董事會職責
承續了台積公司創辦人張忠謀博士對公司治理的理念,在劉德音董事長及魏哲家總裁暨副董事長的領導下,董事會嚴肅對待它的責任,是一個「認真、有能力、獨立」的董事會。
董事會的首要責任是監督公司守法、財務透明、即時揭露重要訊息、沒有貪污等。為了善盡監督責任,台積公司董事會建立了各式組織與管道,例如審計委員會、薪酬委員會、隸屬審計委員會的財務專家顧問、內部稽核等。
董事會的第二個責任,是評量經營團隊之績效及任免經理人。台積公司經營階層與董事會之間維持著順暢良好的溝通,專心致力於執行董事會的指示與業務營運,以為股東創造最高利益。
董事會的第三個責任,是決議重要事項,例如資本支出、轉投資、股利等。
董事會的第四個責任是指導經營團隊。台積公司董事會每季定期聽取經營團隊的報告,也花相當多時間與經營階層對話,經營階層必須對董事會提擬公司策略,董事會必須評判這些策略成功的可能性,也必須經常檢視策略的進展,並且在需要時敦促經營團隊作調整。

foup/FOSB Reticle  StandAlone

FOUP/FOSB 淨化氣體充填設備

Brillian N2 Purge Solution是一系列專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品。
包含OHB N2、UTS(Under Track Storage)及Standalone N2 Station等,它除了能配合半導體AMHS自動化設備使用,且體積小不佔空間,另外還能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,縮短OHT運送的時間。
華景FOSB Standlone用於製程後段以及封裝,主要功能與UTS相同,亦為延長Q-Time設計的氮氣充氣產品,其不同點在於使用的FOUPFOSB(Front Open Shipping Box)其進出氣點只有單一個孔,為單進單出的形式。

產品特色

Brillian N2 Purge Solution N2淨化系列產品 由下圖三種路線來看,如果FOUP由Stocker出發(路線A),則傳送距離較遠,而UTS/OHB N2(路線B)或Standalone N2 Station(路線C)則可以有效縮短FOUP 傳送至生產設備Loadport(位置A)的時間。
• For N2 and XCDA
• Purge Flow: 0~50 SLM
• Purge Time: 0~600S
• RFID System Embedded
• Mass Flow Controller
• Recipe Setting Available
• Humidity Monitor
• FDC & Alarm Function
• EAP(SECS I/II)
• Touch Plane / RS Interface

產品規格
Item
OHB N2/UTS
FOUP Standalone
FOSB Standalone
安裝位置
自動化系統軌道下/側方
主機台旁或600mm空間
主機台旁或600mm空間
流量大小 SLM
50
≤ 200
≤ 200
製程前後
前段/後段
前段/後段
後段/封裝
適用FOUP類型
Barrier & ASYST
Entegris / ShinETsu
Barrier & ASYST
Entegris / ShinETsu
FOSB
Clamp功能
N
Y
Y

Dummy Loadport

晶圓有效傳送暫存汙染防治設備

傳送暫存汙染防治設備
結合AMHS及人力運輸暫存,加速產品傳送生產 晶圓裝載平台(Dummy Loadport)為自動化傳輸模組設備中的基礎,能有效降低晶圓載具以人力取 貨的時間、人力運輸的閒置、掉落的風險等問題。 現場人員可透過晶圓裝載平台(Dummy Loadport)的 簡易操作介面,正確辨識產品資訊,並搭配AMHS系統快速完成產品傳送,讓現場產品流程運作達到最佳狀態,減少人力運輸的風險並降低營運成本,確保最佳的產品質量。

產品特色
  • 裝置便利
  • 信息顯示明確
  • 遠程監控與管理
  • 即時產品資訊
  • 避免錯誤之防範
產品規格
• 機構件 SUS316 防靜電粉體烤漆
• 體積 650mm X 650mm X 1700mm
• 電源輸入 AC 100-240V 50 / 60Hz 輸出 DC24V 2.5A; DC5V 0.2A 重量75公斤
• 操作環境 恆溫氣候
• 網路與通訊協定 TCP/IP與SECS

E84 模擬器&光學收發器

E84 模擬器&光學收發器
華景E84模擬器符合SEMI E84 標準規範,用於模擬Active(模擬器)對自動化設備端E84 Passive Sensor進行輸入及輸出的傳輸訊號驗證、測試、除錯 (通過DB-25接口連接E84收發器)。 E84 Sensor 華景 E84光學收發器完全符合SEMI 標準E84 規範,並與其他製造商符合SEMI 標準E84規範的收發器兼容。 華景的E84光學收發器在光學上延伸主動和被動端之間並行I / O通信。
產品特色
華景E84模擬器可單機操作,也可透過RS232連接電腦,即時圖形化顯示訊號時序,同時提供明確的訊號錯誤碼與訊號時間資訊,以利快速分析。 資料儲存則提供2種方式,方式一為單機資料儲存功能(無須其他電腦設備),方式二為連接電腦端的儲存資料。

產品規格
1. 兼容SEMI®E84的並行輸入和輸出部分。
2. 與DMS-HB1和DM-HB1光學數據傳輸設備100%的光學和機械兼容性。
3. 提供用於輸入,輸出和連線信號指示燈LED,以及電源狀態指示燈LED。
4. 與競爭產品相比,質量更高,成本更低。

OHB N2 中文產品名稱

華景OHB N2
用於製程前段,安裝於自動化軌道下方,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,且體積小不佔空間,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,縮短OHT的運送時間。

產品特色
產品規格

UTS(Under Track Storage) 中文產品名稱

華景UTS(Under Track Storage)
用於製程後段,安裝於自動化軌道側方,與OHB功能相同,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,能有效縮短FOUP傳送至設備Load Port 的時間。

產品特色
產品規格
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